光学光刻和极紫外光刻 (德)安迪·爱德曼 著 高伟民,徐东波,诸波尔 译 在线下载 pdf mobi 2025 epub 电子版

本书在介绍光刻技术应用上，作者涵盖了全面又丰富的内容，在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，本书采用了完整但不繁琐的方法，增加了该书的可读性。在论述光刻技术的共性内容后，该书专门开辟章节，较为详细地介绍了xianjin的极紫外光刻技术的特点和难点，从理论上揭示了极紫外光刻的技术奥秘。该书内容全面、完整、详实、新颖，集这四个特点于一书，目前尚没有一本关于光刻技术方面的书可以与之媲美。该书凝聚了作者30多年光刻领域科研和教学之精华，对于从事芯片领域的专业技术人员，这是一本手册性的内容丰富的参考书。

第1章 光刻工艺概述

1.1 微型化：从微电子到纳米技术

1.2 光刻技术的发展史

1.3 投影光刻机的空间成像

1.4 光刻胶工艺

1.5 光刻工艺特性

1.6 小结

参考文献

第2章 投影光刻的成像原理

2.1 投影光刻机

2.2 成像理论

2.2.1 傅里叶光学描述

2.2.2 倾斜照明与部分相干成像

2.2.3 其他成像仿真方法

2.3 阿贝瑞利准则及其影响

2.3.1 分辨率极限和焦深

2.3.2 影响

2.4 小结

参考文献

第3章 光刻胶

3.1 光刻胶概述、常规反应原理和现象学描述

3.1.1 光刻胶的分类

3.1.2 基于重氮萘醌的光刻胶

3.1.3 xianjin的正型化学放大光刻胶

3.1.4 现象学模型

3.2 光刻胶工艺步骤和建模方法

3.2.1 技术方面

3.2.2 曝光

3.2.3 曝光后烘焙

3.2.4 化学显影

3.3 建模方法和紧凑光刻胶模型概述

3.4 负型与正型光刻胶材料和工艺

3.5 小结

参考文献

第4章 光学分辨率增强技术

4.1 离轴照明

4.1.1 线空图形的佳离轴照明形态

4.1.2 接触孔阵列的离轴照明

4.1.3 从传统/参数化的照明形态到自由照明形态

4.2 光学邻近效应校正

4.2.1 孤立密集线宽偏差补偿

4.2.2 线端缩短补偿

4.2.3 从基于规则到基于模型的OPC和反演光刻技术

4.2.4 OPC模型和工艺流程

4.3 相移掩模

4.3.1 强相移掩模：交替型相移掩模

4.3.2 衰减型或弱相移掩模

4.4 光瞳滤波

4.5 光源掩模协同优化

4.6 多重曝光技术

4.7 小结

参考文献

第5章 材料驱动的分辨率增强

5.1 分辨率极限的回顾

5.2 非线性双重曝光

5.2.1 双光子吸收材料

5.2.2 光阈值材料

5.2.3 可逆对比增强材料

5.3 双重和多重成形技术

5.3.1 光刻刻蚀光刻刻蚀

5.3.2 光刻固化光刻刻蚀

5.3.3 自对准双重成形

5.3.4 双色调显影

5.3.5 双重和多重成形技术的选项

5.4 定向自组装

5.5 薄膜成像技术

5.6 小结

参考文献

第6章 极紫外光刻

6.1 EUV光源

6.2 EUV和多层膜中的光学材料特性

6.3 EUV掩模

6.4 EUV曝光设备和图像形成

6.5 EUV光刻胶

6.6 EUV掩模缺陷

6.7 EUV光刻的光学分辨率极限

6.7.1 6.xnm波长的超极紫外光刻

6.7.2 高数值孔径EUV光刻

6.7.3 低k1技术：EUV光刻的光学分辨率增强技术

6.8 小结

参考文献

第7章 投影成像以外的光刻技术

7.1 非投影式光学光刻：接触式和接近式光刻

7.1.1 图像形成和分辨率xianzhi

7.1.2 技术实现

7.1.3 xianjin的掩模对准光刻

7.2 无掩模光刻

7.2.1 干涉光刻

7.2.2 激光直写光刻

7.3 无衍射xianzhi的光刻

7.3.1 近场光刻

7.3.2 利用光学非线性

7.4 三维光刻

7.4.1 灰度光刻

7.4.2 三维干涉光刻

7.4.3 立体光刻和三维微刻印

7.5 浅谈无光刻印

7.6 小结

参考文献

第8章 光刻投影系统：高级技术内容

8.1 实际投影系统中的波像差

8.1.1 波像差的泽尼克多项式表示

8.1.2 波前倾斜

8.1.3 离焦像差

8.1.4 像散

8.1.5 彗差

8.1.6 球差

8.1.7 三叶像差

8.1.8 泽尼克像差小结

8.2 杂散光

8.2.1 恒定杂散光模型

8.2.2 功率谱密度（PSD）杂散光模型

8.3 高数值孔径投影光刻中的偏振效应

8.3.1 掩模偏振效应

8.3.2 成像过程中的偏振效应

8.3.3 光刻胶和晶圆堆栈界面的偏振效应

8.3.4 投影物镜中的偏振效应和矢量成像模型

8.3.5 偏振照明

8.4 投影光刻机中的其他成像效应

8.5 小结

参考文献

第9章 光刻中的掩模和晶圆形貌效应

9.1 严格电磁场仿真的方法

9.1.1 时域有限差分法

9.1.2 波导法

9.2 掩模形貌效应

9.2.1 掩模衍射分析

9.2.2 斜入射效应

9.2.3 掩模引起的成像效应

9.2.4 EUV光刻中的掩模形貌效应及缓解策略

9.2.5 各种三维掩模模型

9.3 晶圆形貌效应

9.3.1 底部抗反射涂层的沉积策略

9.3.2 靠近栅极的光刻胶底部残余

9.3.3 双重成形技术中的线宽变化

9.4 小结

参考文献

第10章 xianjin光刻中的随机效应

10.1 随机变量和过程

10.2 现象

10.3 建模方法

10.4 依存性及其影响

10.5 小结

参考文献

专业词汇中英文对照表

安迪·爱德曼（Andreas Erdmann)，国际光学工程学会（SPIE）会士，德国弗劳恩霍夫协会（Fraunhofer）下属集成系统和元器件技术研究所（IISB）计算光刻和光学部门的负责人。他还是埃朗根大学（University of Erlangen）的客座教授、国际Fraunhofer光刻仿真研讨会的组织者，主持过国际光学工程学会（SPIE）的光学光刻和光学设计大会。拥有25年以上的光学光刻和极紫外光刻的研究经验，为多个优选光刻仿真软件的发展做出了关键贡献，其中包括光刻仿真软件Dr.LiTHO的研发。

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编辑推荐

"1. 本书概况

光刻机常被成称为“半导体工艺皇冠上的明珠”。谁掌握了光刻机制造技术，谁就可以在大国博弈中立于不败之地。本书在介绍光刻技术应用上，作者涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的共性内容后，该书专门开辟章节，较为详细地介绍了最优选的极紫外光刻技术的特点和难点，从理论上揭示了极紫外光刻的技术奥秘。

2.本书特色

（1）本书是一本近期新的光刻技术专著，涵盖了该领域各个重要方面，既有理论的深度又有内容的广度。

（2）目前尚没有一本关于光刻技术方面的书可以与之媲美。该书凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学之精华，对于从事芯片领域的专业技术人员，这是一本手册性的内容丰富的参考书。

（3）本书由ASML团队匠心翻译。"

书籍介绍

《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。

• 作者：深溪虎 发布时间：2017-12-21 20:26:31

  西路军的历史堪称一曲悲歌，却被写成一片矫揉造作，文过饰非，和伟光正，阿谀奉承的八股文，那些泉下的英烈若是有知，恐怕也会泪洒长襟，双目呲裂吧？宣传主旋律没有错，但是不讲究方式方法就是作恶！看完这本书最大的收益就是不用再看同系列的另外两本了。

• 作者：巴黎欧莱雅527 发布时间：2023-05-04 09:59:53

  喜欢做鬼脸

• 作者：狄特里希 发布时间：2015-03-10 21:00:02

  姚非拉不管私德怎么样，至少他的才华还是显而易见的，甚至可以说是中国最有才的漫画家，不过比起这本，我还是更喜欢他的80度

• 作者：對誰過敏.Jane 发布时间：2014-02-05 20:27:49

  内容又烂又水，作者沉浸在自己经营了10多年的价值500W美元的公司成就中不能自拔，不停地举例说明各种零碎琐事但是毫无逻辑啊！无力吐槽，公司经营得成功与否和写书是否逻辑清楚没什么联系，有兴趣的还是去她linkedin吧。http://www.linkedin.com/in/marynaylor

• 作者：徐大水 发布时间：2008-08-01 10:05:46

  比纵横文艺

• 作者：SSnAr 发布时间：2023-05-17 13:21:20

  详解DUV和EUV光刻技术～作者和译者都是大咖

• 产品才是真正的超级符号

  作者：庞二哥 发布时间：2013-12-25 16:04:50

• 在唐诗中生活

  作者：天涯歌人 发布时间：2009-08-22 14:22:32

  记得不止有一个朋友问过我：读了那么多书，最喜欢那一本？我总是笑着说，我喜欢的书很多，比如说《唐诗三百首》《宋词三百首》《海子的诗》《王小波文集》《红楼梦》《挪威的森林》《傅雷家书》《走向奴役之路》。。。。。。但是，如果说最喜欢的，也就是唐诗了。

  每当说这句话时我就忘却了世界的喧哗，抬起头，带着纯净的目光望着远方，想象着书中悠远而宁静的景致，那片心灵的芳草地上悠长的牧笛之声。

  唐诗，那是一个朝代的繁华与缠绵，一层历史的沉淀与回响，一份心灵间的交融与慰藉。李白，杜甫，李商隐，白居易，元稹，张若虚，岑参，王维，杜牧。。。。。。。这一个个鲜活的名字把他们的心灵最深处的珍宝挥洒在历史的长河中，让后人在河中沐浴时发出阵阵惊奇与感叹，这时，我们总会抬起头，望着浩瀚的长河之源，目光里，满是敬仰与倾慕。

  小时候，我就开始喜欢李白，他的诗没有丝毫做作，基本不用典，率性而来，挥手而去，汪洋恣意，无所羁绊。

  “我本楚狂人，风歌笑孔丘”试问，有哪位饱读经书之人敢这么说？；“仰天大笑出门去，吾辈岂是蓬蒿人”，试问，有谁敢拿出这种狂傲来面对世人？；“人生在世不称意，明照散发弄扁舟”，从中，我们看到了李白的两种“骨”，一个是铮铮铁骨，一个是道风仙骨；“安能催眉折腰事权贵，使我不得开心颜”这才是诗人，直面自己的心灵，梦中的天姥山是那么清新与自然，那里才是李白心灵的归宿。

  最终李白在带着他所有的光华走向了自己的心灵归宿，关于他的逝去有三个说法，一个是在安徽“以饮酒过度，醉死于宣城”，有一个是李白不顾61岁的高龄，请缨杀敌，因病中途返回，次年病死于当涂县令、唐代最有名的篆书家李阳冰处。可是，我喜欢第三个说法，李白在当涂的江上饮酒，因醉跳入水中捉月而溺死。那是一种怎样的美景啊，世间的明月在千杯之后扑向了天上的明月，在那清澈宁静的河水上，随着李白的一跃，构成了诗歌史上最完美的图画。

  《沧浪诗话》里有这么一句话：子美不能为太白之飘逸,太白不能为子美之沉郁。诗界还有这么一个忠告：学诗应该学老杜，即使最终你写不了那么好，但是，模样总归还是有的，可你如果学李白，最终很可能就是四不像了。

  确实，杜甫是一个理性的诗人，他学诗有严格家庭教养（其祖父杜审严也是初唐一位有名的诗人），在环境的熏陶之下，他的诗有着严格的规律可行，但是，他把规律发挥到了淋漓尽致的地步，这在他的《登高》里得到了完美地表现

  风急天高猿啸哀，渚清沙白鸟飞回。

  无边落木萧萧下，不尽长江滚滚来。

  万里悲秋常作客，百年多病独登台。

  艰难苦恨繁霜鬓，潦倒新停浊酒杯。

  初一看，好诗，再一看，我们都会呆了，这么流畅的诗歌居然每一句都是对仗。如果没有及其深厚的韵律基础，没有及其精致的表达技巧，没有艰苦卓绝的操练，有谁能够写成！

  杜甫的诗是一个朝代的历史，他经历了从盛唐到安史之乱后的衰微。他想振兴，但是，又无能为力，于是，他把所有的情感都倾诉贫苦的百姓身上，三吏，三别，字字珠玑，也是字字血泪啊，让人不认卒读！

  “君不见青海头，古来白骨无人收，新鬼烦冤旧鬼哭，天阴雨湿声啾啾。。。。。”哭泣的不只是被迫参军百姓的冤魂，更是老杜的憔悴不堪的心啊！我想起了那句话：世上疮痍,诗中圣哲;人间疾苦,笔底波澜。

  要问唐诗中谁写的情诗最好，我会说三个人：李商隐，元稹，白居易。李商隐的《无题》系列永远是描写爱情的杰作，世间的评论太多太多，争吵的激烈程度是唐诗中最利害的。

  “扇裁月魄羞难掩，车走雷声语未通”诗人到底遇到了什么人，相识凝眸，却无语相对呢？；“蓬山此去无多路，青鸟殷勤为探看”我仿佛听到诗人在呐喊：那近在咫尺天涯的心上人啊，我心灵的青鸟已去看你，你看到了么？；“昨夜星辰昨夜风，花楼西畔桂堂东，身无彩凤双飞翼，心有灵犀一点通。。。。”是谁，与他在酒桌相遇，默默相看，心有灵犀呢？；“春心莫共花争发，一寸相思一寸灰。”看来，我们可爱的诗人遭到了爱情的挫败，是谁，这么忍心呢？还是她也是无奈？；“庄生晓梦迷蝴蝶，望帝春心托杜鹃”诗人梦见了双飞的蝴蝶么？那么他托的杜鹃仙子又是谁呢？。。。。。。。。这样的句子还有好多好多，仿佛是作者爱上了一位贵妇人，但是，他的身份不够，再加上礼教的束缚，他一个人忍受着所有的苦痛，我想起了一句诗“如果大海注定要决堤，就让所有的苦水注入我心中”，这，也是李商隐的爱情宣言！

  元稹的诗总体来说算不上一流，但是，他的爱情诗感人至深却是毫无疑义的。元稹的妻子是一个贵族人家排行最小的女儿，因为倾慕元稹的才华义无反顾的嫁给了当时贫寒的他（谢公最小偏怜女 自嫁黔娄百事乖），但是，还没等到元稹“奉钱过万”时，他挚爱的妻子已经离他而去了。

  “曾经沧海难为水，除却巫山不是云。每次花丛懒回顾，半缘修道半缘君。”这就是元稹对自己爱情的表白：我经过了世界上最完美地爱情，我的真爱已经付出，路边的闲花野草我是不会去在意你们的，为了自我的品格，为了我心里的“君”，我将独自走完这漫漫人生路。

  我还被他一首诗感动了，“伴客消愁长日饮，偶然乘兴便醺醺。醒来错怪旁人泣，醉时时错问君。”我们的诗人太想他逝去的妻子了，拉几个朋友终日买醉，但是醉醒后，只看到朋友含着泪水的目光，他茫然不解，一问才知道，醉中的他时时呼唤亡妻的爱名。。。。。。

  生离死别中，什么才是爱情中最珍贵的，只是那一份永恒的期待与守望。或许有人要说，元稹后来不是续弦了么？我想说的是：元稹的真爱，只有一个。男人的生活没有女人来打理肯定是不行的，尤其是诗人。

  有人说爱情是不能用理信来衡量的，但是，有一位大诗人写出了理信的爱情，那就是白居易。白居易是唐代诗人中为官最高的之一，他曾官至宰相。但是，他的诗依旧那么好，平实中流露出一股对人间的珍爱。其爱情诗的代表作就是那首妇孺皆知的《长恨歌》。古往今来，有谁认为皇帝有真正的爱情，但是，白居易写出来了，他笔下唐明皇与杨贵妃那一段凄怨缠绵的爱情，那么坚定与纯洁，甚至超过了世俗的爱情。“七月七日长生殿，夜半无人私语时，在天愿做比翼鸟，在地愿为连理枝，天长地久有时尽，此恨绵绵无绝期。。。。。。。。”那悠远的情丝把长安的明皇和海上飘渺仙山中的太真仙子紧紧牵连在一起，万里之遥的情侣把对爱情的希望寄托在无尽的未来，生前死后，此爱永恒！

  我恨，恨不能生活在风华绝代的大唐王朝；我恨，恨不能耳闻目睹那一位位诗中圣贤；我恨，恨不能拜于她们门下，即使终日为其磨墨洗笔都心甘！

  世间的荣辱辛甘，悲欢离合都在唐诗中一一展现，翻开唐诗，我们进入了另一个世界，在那里，有我们最真的心，最纯的情，最想体会的故事。我爱唐诗，也就等于爱我的心，“一声何满子，双泪落君前”，我，流泪了。。。。。。。