光学光刻和极紫外光刻 上海科学技术出版社 在线下载 pdf mobi 2025 epub 电子版

本书在介绍光刻技术应用上，作者涵盖了全面又丰富的内容，在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，本书采用了完整但不繁琐的方法，增加了该书的可读性。在论述光刻技术的共性内容后，该书专门开辟章节，较为详细地介绍了xianjin的极紫外光刻技术的特点和难点，从理论上揭示了极紫外光刻的技术奥秘。该书内容全面、完整、详实、新颖，集这四个特点于一书，目前尚没有一本关于光刻技术方面的书可以与之媲美。该书凝聚了作者30多年光刻领域科研和教学之精华，对于从事芯片领域的专业技术人员，这是一本手册性的内容丰富的参考书。

第1章 光刻工艺概述

1.1 微型化：从微电子到纳米技术

1.2 光刻技术的发展史

1.3 投影光刻机的空间成像

1.4 光刻胶工艺

1.5 光刻工艺特性

1.6 小结

参考文献

第2章 投影光刻的成像原理

2.1 投影光刻机

2.2 成像理论

2.2.1 傅里叶光学描述

2.2.2 倾斜照明与部分相干成像

2.2.3 其他成像仿真方法

2.3 阿贝瑞利准则及其影响

2.3.1 分辨率极限和焦深

2.3.2 影响

2.4 小结

参考文献

第3章 光刻胶

3.1 光刻胶概述、常规反应原理和现象学描述

3.1.1 光刻胶的分类

3.1.2 基于重氮萘醌的光刻胶

3.1.3 xianjin的正型化学放大光刻胶

3.1.4 现象学模型

3.2 光刻胶工艺步骤和建模方法

3.2.1 技术方面

3.2.2 曝光

3.2.3 曝光后烘焙

3.2.4 化学显影

3.3 建模方法和紧凑光刻胶模型概述

3.4 负型与正型光刻胶材料和工艺

3.5 小结

参考文献

第4章 光学分辨率增强技术

4.1 离轴照明

4.1.1 线空图形的佳离轴照明形态

4.1.2 接触孔阵列的离轴照明

4.1.3 从传统/参数化的照明形态到自由照明形态

4.2 光学邻近效应校正

4.2.1 孤立密集线宽偏差补偿

4.2.2 线端缩短补偿

4.2.3 从基于规则到基于模型的OPC和反演光刻技术

4.2.4 OPC模型和工艺流程

4.3 相移掩模

4.3.1 强相移掩模：交替型相移掩模

4.3.2 衰减型或弱相移掩模

4.4 光瞳滤波

4.5 光源掩模协同优化

4.6 多重曝光技术

4.7 小结

参考文献

第5章 材料驱动的分辨率增强

5.1 分辨率极限的回顾

5.2 非线性双重曝光

5.2.1 双光子吸收材料

5.2.2 光阈值材料

5.2.3 可逆对比增强材料

5.3 双重和多重成形技术

5.3.1 光刻刻蚀光刻刻蚀

5.3.2 光刻固化光刻刻蚀

5.3.3 自对准双重成形

5.3.4 双色调显影

5.3.5 双重和多重成形技术的选项

5.4 定向自组装

5.5 薄膜成像技术

5.6 小结

参考文献

第6章 极紫外光刻

6.1 EUV光源

6.2 EUV和多层膜中的光学材料特性

6.3 EUV掩模

6.4 EUV曝光设备和图像形成

6.5 EUV光刻胶

6.6 EUV掩模缺陷

6.7 EUV光刻的光学分辨率极限

6.7.1 6.xnm波长的超极紫外光刻

6.7.2 高数值孔径EUV光刻

6.7.3 低k1技术：EUV光刻的光学分辨率增强技术

6.8 小结

参考文献

第7章 投影成像以外的光刻技术

7.1 非投影式光学光刻：接触式和接近式光刻

7.1.1 图像形成和分辨率xianzhi

7.1.2 技术实现

7.1.3 xianjin的掩模对准光刻

7.2 无掩模光刻

7.2.1 干涉光刻

7.2.2 激光直写光刻

7.3 无衍射xianzhi的光刻

7.3.1 近场光刻

7.3.2 利用光学非线性

7.4 三维光刻

7.4.1 灰度光刻

7.4.2 三维干涉光刻

7.4.3 立体光刻和三维微刻印

7.5 浅谈无光刻印

7.6 小结

参考文献

第8章 光刻投影系统：高级技术内容

8.1 实际投影系统中的波像差

8.1.1 波像差的泽尼克多项式表示

8.1.2 波前倾斜

8.1.3 离焦像差

8.1.4 像散

8.1.5 彗差

8.1.6 球差

8.1.7 三叶像差

8.1.8 泽尼克像差小结

8.2 杂散光

8.2.1 恒定杂散光模型

8.2.2 功率谱密度（PSD）杂散光模型

8.3 高数值孔径投影光刻中的偏振效应

8.3.1 掩模偏振效应

8.3.2 成像过程中的偏振效应

8.3.3 光刻胶和晶圆堆栈界面的偏振效应

8.3.4 投影物镜中的偏振效应和矢量成像模型

8.3.5 偏振照明

8.4 投影光刻机中的其他成像效应

8.5 小结

参考文献

第9章 光刻中的掩模和晶圆形貌效应

9.1 严格电磁场仿真的方法

9.1.1 时域有限差分法

9.1.2 波导法

9.2 掩模形貌效应

9.2.1 掩模衍射分析

9.2.2 斜入射效应

9.2.3 掩模引起的成像效应

9.2.4 EUV光刻中的掩模形貌效应及缓解策略

9.2.5 各种三维掩模模型

9.3 晶圆形貌效应

9.3.1 底部抗反射涂层的沉积策略

9.3.2 靠近栅极的光刻胶底部残余

9.3.3 双重成形技术中的线宽变化

9.4 小结

参考文献

第10章 xianjin光刻中的随机效应

10.1 随机变量和过程

10.2 现象

10.3 建模方法

10.4 依存性及其影响

10.5 小结

参考文献

专业词汇中英文对照表

安迪·爱德曼（Andreas Erdmann)，国际光学工程学会（SPIE）会士，德国弗劳恩霍夫协会（Fraunhofer）下属集成系统和元器件技术研究所（IISB）计算光刻和光学部门的负责人。他还是埃朗根大学（University of Erlangen）的客座教授、国际Fraunhofer光刻仿真研讨会的组织者，主持过国际光学工程学会（SPIE）的光学光刻和光学设计大会。拥有25年以上的光学光刻和极紫外光刻的研究经验，为多个优选光刻仿真软件的发展做出了关键贡献，其中包括光刻仿真软件Dr.LiTHO的研发。

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编辑推荐

"1. 本书概况

光刻机常被成称为“半导体工艺皇冠上的明珠”。谁掌握了光刻机制造技术，谁就可以在大国博弈中立于不败之地。本书在介绍光刻技术应用上，作者涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的共性内容后，该书专门开辟章节，较为详细地介绍了最优选的极紫外光刻技术的特点和难点，从理论上揭示了极紫外光刻的技术奥秘。

2.本书特色

（1）本书是一本近期新的光刻技术专著，涵盖了该领域各个重要方面，既有理论的深度又有内容的广度。

（2）目前尚没有一本关于光刻技术方面的书可以与之媲美。该书凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学之精华，对于从事芯片领域的专业技术人员，这是一本手册性的内容丰富的参考书。

（3）本书由ASML团队匠心翻译。"

书籍介绍

《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。

• 作者：乡愁 发布时间：2008-08-20 21:27:18

  周锐描写他外甥的德国生活，挺有趣的。

• 作者：躺读者Antares 发布时间：2019-06-21 07:12:39

  实用入门

• 作者：SSnAr 发布时间：2023-05-17 13:21:20

  详解DUV和EUV光刻技术～作者和译者都是大咖

• 作者：＝￣(ｴ)￣＝ 发布时间：2019-09-13 14:59:44

  2019年7月 南图借阅 娃只能看看图片了

• 作者：月亮嫌六便士少 发布时间：2020-06-14 13:23:19

  为了换新房做准备。

• 作者：济公 发布时间：2020-03-18 15:48:09

  翻译得太差了......

• 被侮辱与被损害的受虐狂

  作者：LisaLeung 发布时间：2008-05-25 16:01:04

    两天半的时间，我读完了陀思妥耶夫斯基的『被侮辱与被损害的人』，这是我读的第一部陀氏的作品。吸引我的是书名。

    陀氏的故事都是那么的苦大仇深。可是我读完了这本书以后，内心却非常的平静。黑暗，丑恶，荒谬，好人遭遇不幸，结局悲惨，坏人继续其骄奢腐败的生活，没有得到一丝报应。这种事情，在这片神奇的中国土地上比比皆是，只要你没有被嘻嘻踢v的和谐盛世蒙蔽了双眼，这样的故事，想必你已经太熟悉了。

    这是一群受虐狂的故事。除了利己的公爵及其智商不高的儿子，伊赫梅涅夫，内莉及其母亲，还有娜塔莎，都是一群受虐狂。 弗洛伊德对受虐狂有如下解释：假如人生活在一种无力改变的痛苦之中，就会转而爱上这种痛苦，把它视为一种快乐，以便自己好过一些。把痛苦视为一种乐趣的便可称为受虐狂。

    伊赫梅涅夫，在被公爵误解，被搬弄是非的人污蔑，并惹上官司的时候，他不屑于为女儿辩解，甚至禁止其夫人去跟乡邻作出解释，当他的女儿离开家庭，与公爵儿子同居的时候，他气愤不已，却心口不一。心里牵挂女儿，嘴里诅咒女儿。这种受诽谤而不辩解，心疼女儿却不开口劝说她回来。这样的隐忍是一种受虐。这种受虐让他觉得自己有尊严。

    内莉的母亲，舍身忘我地爱上了年轻的公爵，结果被骗到了国外，父亲的财产也被公爵攫取，最后惨遭抛弃。她没有利用唯一的证物——公爵立下的笔据来通过法律起诉，她甚至唾弃公爵给他的金钱（那还是她父亲的钱呢），她把自己陷进万劫不复的境地，也让女儿受苦。这样的博大胸怀，把金钱视作粪土，以怨怼跟幻想苦度岁月，是一种受虐，为的是把公爵当作贼来诅咒，来蔑视。这种受虐让她觉得自己是宽宏大量，完全正确的。

    内莉。继承了母亲『不肯屈服』的气质。身体孱弱多病，内心却警惕倔强。她牢记着母亲的话：『别去找他们，要干活，哪怕冻死饿死，也不要去找他们』，她对人们的爱抱以不信任，自个儿跑去乞讨，一再要求做佣人，她宁可受苦挨打被病痛折磨，也不肯利用那个证明自己是公爵女儿的香囊。这种以苦为乐，意识到命运不公却故意让自己更加经受命运的折磨的心态，也是一种自虐。这种受虐让弱小的处于底层的她觉得骄傲。

    娜塔莎。为了孩子一般天真敏感的阿廖沙，放弃家庭、放弃尊严、容忍所有不平。当预料到阿廖沙会移情于卡佳的时候，她放弃争取，放弃指责，放弃不易的爱情，独自忍受悲痛，还善意为阿廖沙宽心，让他不再有顾虑。看似无私，却也是一种变相自虐，是女人在爱情中惯常的表现，她一再原谅阿廖沙的软弱与自私，委屈自己成全阿廖沙与卡佳，看来伟大，但却直接导致阿廖沙长此以往的不成熟不知责任为何物。她不唤醒阿廖沙，间接让公爵的阴谋得逞。娜塔莎不过从自己爱恋体谅那个”怪可怜见“的阿廖沙中得到一种升华的圣母般的快乐。这种自我牺牲，这种受虐让娜塔莎觉得自己的爱情是伟大的高尚的。

    这是一群弱者，他们骄傲固执，热烈盲目，在遭受践踏跟不幸的时候，拿道德意义中的自虐来自我欣赏，也让别人欣赏，最后获得精神快感。受虐让他们的灵魂高尚，让他们有了精神层面上的尊严，让他们占据了道德优势，可以痛恨指责那些侮辱损害他们的人。

    小女认为，这种受虐狂式的宽容忍顺在某方面也导致了社会的黑暗。娜塔莎应该无情地指责阿廖沙愚笨的自私本性，内莉母亲该拿出字据，通过法律起诉公爵，内莉也应该早点出示香囊，争取公爵的抚养。黑暗的社会黑暗的规则黑暗的制度会让他们失败无疑。但抗争未果不能成为放弃抗争沉迷精神自渎的借口。受苦受难的基督精神只是社会的精神麻醉剂。高尚的道德不能直接压倒黑暗，让社会进步。因此需要行动，即便是失败的行动。

    公爵诚然是卑鄙无比道德下流廉耻丧尽的，但引用他的一番话作为我的拙文结尾：『我简直讨厌透了所有这些天真烂漫，所有这些阿廖沙似的田园牧歌，所有这些席勒式的想入非非，在同这个娜塔莎的该死的关系中所有这些高尚和崇高，我真恨不得有机会能对所有这些东西扮个鬼脸，尽情地嘲弄一番。』

  ps：1 每个人都有受虐的权利。

      2 阿廖沙在我看来的确是智商比较低的。两个女人都太纵容他。没能让他成长。当然，两个母爱强烈的女人只是需要一个乖巧天真的儿子而已。再说，女人一般都自以为比男人成熟的。

      3 同情。

    

• ys

  作者：wangtao123 发布时间：2015-05-08 09:21:22

  家庭医生 拿到这本书，着实把我吓了一跳，无论是外面的那个纸盒包装还是书本身的包装，都让人感觉到出版社的认真。外面还有气泡纸包着，京东的这般用心，不得不给五分好评啊。 说到这本书的内容，也是很赞。作为一名医生，读各类医学书本也挺多的，这本书虽说是以《家庭医生》为书名，可内容上完全可以替一般医学书本的总结。首先，这本书的内容，取自世界最规范的医学知识，由英国医学会与数百位世界顶尖医学......