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《微机电系统（MEMS）制造技术》主要论述微机电系统（MEMS）制造技术，《微机电系统（MEMS）制造技术》共9章。第1章阐述MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势；第2章介绍MEMS制造的材料基础；第3章阐述MEMS制造中的沾污及洁净技术；第4章阐述包括光刻技术和软光刻技术在内的图形转移技术；第5章阐述湿法腐蚀与干法刻蚀技术；第6章阐述氧化、扩散与注入技术；第7章介绍各种薄膜制备技术；第8章介绍包括表面牺牲层工艺、体加工工艺和混合工艺在内的MEMS加工标准化工艺；第9章阐述MEMS的芯片级和圆片级封装工艺。《微机电系统（MEMS）制造技术》结合大量设备操作实例和工艺实例，贴近实践，易于理解。同时，考虑到MEMS加工工艺过程涉及大量化学品的使用，还专门以附录的形式对孔MEMS制造常用化学品物质安全资料表和基本化学品安全术语进行了介绍。

《微纳制造的基础研究学术著作丛书》序

前言

第1章 绪论 1

1.1 微机电系统定义 1

1.2 MEMS制造技术 3

1.3 MEMS制造技术发展历程 4

1.4 MEMS制造技术发展趋势 10

参考文献 13

第2章 MEMS制造材料基础 15

2.1 引言 15

2.2 硅材料 15

2.3 硅化合物 20

2.3.1 二氧化硅 20

2.3.2 氮化硅 21

2.4 压电材料 22

2.5 形状记忆合金 24

2.6 超磁致伸缩材料 28

2.7 电流变/磁流变体 28

2.8 有机聚合物材料 29

2.8.1 PI 30

2.8.2 PDMS 30

2.8.3 PMMA 33

2.9 聚合物前驱体陶瓷 34

参考文献 36

第3章 MEMS制造中的沾污及洁净技术 38

3.1 MEMS制造中的沾污 38

3.1.1 洁净间技术 39

3.1.2 去离子水技术 41

3.1.3 防静电技术 44

3.2 MEMS制造中的清洗 48

3.2.1 SPM清洗 48

3.2.2 RCA清洗 49

3.2.3 DHF清洗 50

3.2.4 超声/兆声清洗 50

3.2.5 其他清洗 53

3.2.6 标准清洗流程 53

参考文献 55

第4章 图形转移 56

4.1 引言 56

4.2 光刻技术 56

4.2.1 光刻基本原理 56

4.2.2 制版 58

4.2.3 脱水烘 60

4.2.4 涂胶 61

4.2.5 软烘 67

4.2.6 对准 68

4.2.7 曝光 71

4.2.8 中烘 77

4.2.9 显影 77

4.2.10 坚膜 79

4.2.11 镜检 79

4.2.12 去胶 79

4.3 剥离 80

4.3.1 单层胶氯苯处理法 81

4.3.2 双层胶法 81

4.3.3 图形反转胶法 82

4.3.4 其他方法 83

4.4 软光刻技术 85

4.4.1 嵌段共聚物自装 85

4.4.2 微复制成形 89

4.4.3 微转印成形 91

4.4.4 微接触印刷 92

4.4.5 毛细管微成形 95

4.4.6 溶剂辅助微成形 97

4.4.7 电诱导微成形 98

参考文献 100

第5章 湿法腐蚀与干法刻蚀 102

5.1 湿法腐蚀 102

5.1.1 硅的各向同性湿法腐蚀 104

5.1.2 硅的各向异性湿法腐蚀 106

5.1.3 二氧化硅的湿法腐蚀 114

5.1.4 氧化硅的湿法腐蚀 115

5.1.5 铝的湿法腐蚀 115

5.1.6 其他材料的湿法腐蚀 115

5.2 干法刻蚀 115

5.2.1 等离子基础 117

5.2.2 等离子体的产生 120

5.2.3 溅射刻蚀 121

5.2.4 等离子刻蚀 122

5.2.5 反应离子刻蚀 123

5.2.6 深度反应离子刻蚀 127

参考文献 132

第6章 氧化、扩散与注入 134

6.1 氧化 134

6.1.1 氧化设备 134

6.1.2 Deal-Grove氧化模型 135

6.2 扩散 136

6.3 离子注入 145

参考文献 147

第7章 薄膜制备 148

7.1 化学气相沉积 148

7.2 真空镀膜 155

7.3 外延 157

7.4 SOI制备 158

7.5 浸渍提拉法 160

7.6 激光快速回化成型 161

参考文献 164

第8章 MEMS标准工艺 165

8.1 引言 165

8.2 表面牺牲层标准工艺 166

8.2.1 MUMPs表面牺牲层标准工艺 166

8.2.2 SUMMiT工艺 175

8.3 体加工标准工艺 178

8.3.1 溶片工艺 178

8.3.2 SCREAM工艺 181

8.3.3 SOI工艺 183

8.3.4 LIGA工艺 189

8.4 混合工艺 192

8.4.1 体表混合工艺 193

8.4.2 MEMS加CMOS混合工艺 194

参考文献 204

第9章 MEMS封装 205

9.1 引言 205

9.2 芯片级封装 206

9.2.1 探针测试 206

9.2.2 减薄/喷金 208

9.2.3 划片 209

9.2.4 上芯 210

9.2.5 压焊 211

9.2.6 封帽 214

9.3 圆片级封装 217

9.3.1 真空薄膜密封 218

9.3.2 阳极键合 219

9.3.3 熔融键合 221

9.3.4 共晶键合 222

9.3.5 其他中间层键合 222

参考文献 223

附录A MEMS制造常用化学晶 224

附录B 化学品安全术语 236

索引 241

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书籍介绍

《微机电系统（MEMS）制造技术》主要论述微机电系统（MEMS）制造技术，《微机电系统（MEMS）制造技术》共9章。第1章阐述MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势；第2章介绍MEMS制造的材料基础；第3章阐述MEMS制造中的沾污及洁净技术；第4章阐述包括光刻技术和软光刻技术在内的图形转移技术；第5章阐述湿法腐蚀与干法刻蚀技术；第6章阐述氧化、扩散与注入技术；第7章介绍各种薄膜制备技术；第8章介绍包括表面牺牲层工艺、体加工工艺和混合工艺在内的MEMS加工标准化工艺；第9章阐述MEMS的芯片级和圆片级封装工艺。《微机电系统（MEMS）制造技术》结合大量设备操作实例和工艺实例，贴近实践，易于理解。同时，考虑到MEMS加工工艺过程涉及大量化学品的使用，还专门以附录的形式对孔MEMS制造常用化学品物质安全资料表和基本化学品安全术语进行了介绍。

• 作者：57 发布时间：2012-06-25 23:44:14

  又八卦又深刻，力荐。两个左岸巨人的分裂带走了一个时代，但直到现在，他们的理想也没有抛下他们。

• 作者：sange 发布时间：2024-03-02 17:01:12

  主要看了反不正当竞争的部分，用一定篇幅分析了与侵权行为法的关系以及概括条款相关的方法论内容。在民法的框架上分析反法，使得建构更扎实，可以看出体系感。另外，语言比较流畅、凝练，没有什么废话，值得肯定！

• 作者：J格 发布时间：2018-09-25 19:46:19

  没有脑子的稻草人，碰到困难都能想出办法；没有心的伐木人，踩死一只蚂蚁都会伤心；没有勇气的狮子，在危险面前都能挺身而出。很多时候我们不是缺乏某些品质，而是拥有却不自知。

• 作者：dormouse 发布时间：2016-06-30 10:41:12

  副标题更准确一些。跟山东、中国甚至二战都几乎没有实质性联系，只是关于一群人在一个狭小的区域里被关上几年会发生什么的故事。

• 作者：杜酥 发布时间：2020-11-05 12:45:26

  我是真不喜欢，本身权钱官场攀关系送礼这种题材背景我就很不喜欢，像被摁在酒桌上灌酒说不喝就是不给我面子，反胃恐惧又要强忍。/ / 再者整本书透出浓烈的中老年味，罗列，描述，对话，解释，令人退避三舍的中老年味实在太浓了，更何况庄之蝶还他娘的阴魂不散，像是变成了这群女人的主心骨了……人之间没有真情意满是小算计也好，人之间的情谊幻灭和世事崩塌只在瞬间也好，稳固不稳固，孤独或对抗孤独，也可以只发生在同性之间，也可以只发生在自我体内，拜托不要夜里接到电话就兴奋地换上性感黑蕾丝内衣去赴约好吗，累了。（也不是不行，我就是烦。/ 说了这么多，总结一下，我不喜欢。

• 作者：7ccc 发布时间：2015-01-30 15:36:26

  整个书就是王健林在各个地方、场合说过的话的整理，既然是在各个地方做演讲的稿子，也就导致很多内容有重复。诚信，创新，文化，信息化，坚持。这是作者翻来覆去强调的经营一家企业需要注意的重点。总体来说，本书还可以。很佩服作者。非常有能力和远见，思想眼界非常的开阔。期待万达的主题乐园 和O2O成果。

• 生之苍茫

  作者：拐了 发布时间：2009-03-16 06:42:37

  在我持续关注，最为喜欢的四个国漫作者里，吴淼是唯一走向主流商业出版并获得成功的，最早看到塔西里亚故事的漫画是在3年前的网络上，当然没想到后来会持续这么久并且成书出版，我也从吴淼的博客上一不求甚解的一路看下来，从一个个的寓言故事中一睹吴淼的世界观，只要稍有了解，你就会明白，这书能最终出来绝不是偶然。

  就漫画的本体来言，塔希里亚并不难，版画式的风格很适合寓言，从个别故事里还感觉分镜略有不足，不过这都不是塔希里亚追求的东西，有意思的就在于整个漫画所构造的世界和作者本身的世界观，我总觉得看这个漫画好像是作者本身在和读者交流，一个来自于西方奇幻世界或者说《龙与地下城》结合了作者自身对世界观察得出的各种结论，想象力和归纳感才是塔希里亚的重心，而且是锲而不舍的逐步完善，这本身就是一种莫大的鼓励。

  塔希里亚最让人喜欢的一点就是几乎每一个故事本身总会出现把你完全打动的一幕，能够和你对世界的体验产生共鸣，而这都是精心设计完成的，我不知道最初吴淼的构想是怎样，目前完全把叙事重心放在四法师身上应该也就是塔西里亚的未来，这四个人的人物性格的塑造完成度非常的高，每个人都能在四法师身上看到自己的印象，而艾克萨罗斯几乎就是代言作者本身，透过这个人物，吴淼传达自己的世界哲学，一个作者对自己作品本身无上的阐释权和主导权。

  温和善良的老好人雅戈，长于心计聪明能干的艾梅达尔，天才自我的帕卡尔，还有暴躁自卑、毫无掩饰的斯布雷斯，几乎可以涵盖大多数人的性格特征，每个人都有他们的某一面，并体会到生为人本身的生途悠悠和无奈，雅戈总要面对被人控制的世俗世界，艾梅达尔永远无法对人敞开内心、唯一的朋友只有自身，帕卡尔的天才一手造就了自己的孤独寂寞，缺乏天份的斯布雷斯（这个平庸“本我”无疑是塔西里亚里最能打动人的人物）则永远活在过去的伤痕之中。生于世界首先面对的必然是人生的不完美和无奈，你永远无法决定一切，能够掌握的也许只有那么一点儿，而甚至这一点也是必须付出极大代价才能找到，首先需要拿出的是面对的勇气，吴淼无疑是更认同自己创建世界里的魔鬼哲学，在无处不在的规则中追寻自身。这当然是一种男性化的“强者”哲学，从类似于“善良需要的是力量。”“这个世界不缺理想，缺的是坚持。”的对白和艾克萨罗斯对学生的“教导”中无时无刻不在传达这么一种强者的哲学，首先是生存本身，在塔西里亚世界里乱世生存已经是胜利本身，当然，这个“生存”不是指“生命”，而是意味着作为“自我”的生存，坚持自我需要极大的勇气来面对世界，充分的力量去维护自我，这本身已是一条无可逆转的苍凉之路。套用到任何一个世界都是如此，面对世界，坚持自我，可以说是塔西里亚世界的本质思维价值观。

  “强者”哲学意味着承认价值，是的，无论有什么无奈，四法师在塔西里亚的世界里还是作为强者的胜利者，从其他故事里也可以看出作者重视未来和传承的价值观，但这并不意味着一切，塔西里亚所有的故事里几乎都有一种无奈的苍凉感，尤其在博客里最新连载的《灰镜》里，庸人+狂人面对天才二人组在试炼的较量里最终互有得失，歇斯底里的痛苦纠缠，无论你是怎样的人，聪明与否，能力大小，性格如何，一旦降生到这个苍茫世界里，必然是陷入比较博弈的相互生之挣扎之中。而在最终，你得面对的依然是你本身，就像雅戈逃离法师的目光，帕卡尔知道人永远无法欺骗自己，艾梅达尔明白聪明不是用来逃避，斯布雷斯身上永远背负的地狱荆棘。《塔西里亚故事集》无疑是一部属于“重”的世界的作品，因为拿出勇气面对生之苍茫的事实，几乎是所有人存在在世俗世界里都要面对的终极问题。

• 为了生育赌上人生的女性：生孩子这件事，真的不容易

  作者：萧潇 发布时间：2021-03-27 11:52:49

  最近一则令人很愤怒又觉得很悲哀的新闻：

  安徽合肥一名29岁的全职妈妈带着两个年幼的孩子（一个2岁，一个4岁）从24楼一跃而下，三条鲜活的生命，瞬间凋零。

  死后还被丈夫一家指责白吃白喝。因为全职育儿，不能出去工作，每月的生活费没有着落。问丈夫要生活费，丈夫却让她用花呗，等到还款日的时候，一笔一笔核对过去，才给她还款。

  

  01 面向女性的“母职惩罚”

  薛兆丰教授曾经讲过：结婚相当于办企业，需要双方一起拿出自己的资源。女性在生育和养育上多投资，男性就需要在经济上多投资，比如婚前的房产证加名，比如婚后的家庭开支承担。

  可是新闻中的这丈夫一家，丝毫没有尊重孩子妈妈在生育和养育两个孩子上的付出和价值，反而把自己这一方应承担的责任当作对孩子妈妈的一种施舍，指责其白吃白喝，何其冷酷！

  都说“女子本弱，为母则刚”，这句从古自今的赞美，却是赤裸裸的“母职惩罚”。

  

  无论是在西方还是东亚社会，大量的研究发现婚姻和生育对女性在就业领域有负面影响。进入婚姻以后，特别是随着第一个孩子的出生，女性往往因承担更多照料责任而中断就业，中断数年后难回职场，收入也开始和同龄的男性拉开显著差距。社会学家称这一现象为“母职惩罚”，它是造成男女收入差距的主要因素之一。

  且不谈普通女性怀孕及生产的这一年在职场上遭受的歧视与事业的停滞，就算生完孩子之后，家中有老人帮忙，有幸能重回职场，也很难获得发展机会。更别提很多家庭因为客观条件，女性不管愿不愿意，在生育后都只能选择做全职妈妈，一边养育孩子，一边还要费尽心思赚取一点家用，避免“手心向上”的日子。

  生儿育女，为人母，爱孩子，是母亲的本能。但也无法忽略一个事实：无数的女性，被困在了婚姻与生育中。

  02 《黑山羊波纳奇》

  今天介绍的这本《黑山羊波纳奇》，是印度作家佩鲁马·穆鲁根创作的一部给成年读者的动物小说。它与乔治·奥威尔的《动物农场》、米哈伊尔·布尔加科夫的《狗心》相似，都是具有强烈政治意味的作品。

  

  书中的主角黑山羊波纳奇一出生就成为弃儿，经历了作为一只神羊的磨难，体会到了深植在女性身上的社会期待以及无形的暴力。

  “一位无辜的女孩被人世间任意而无时不在的暴力摧残，而她的故事却被人当成神话崇拜。”波纳奇最后因生育而死，化作一具石像，被人当作神话崇拜。这多么像加诸在女性身上的那些“赞美”，看似伟大美好的背后，是不为人知的隐痛。

  03 小说的隐喻：直指女性的挣扎

  黑山羊波纳奇是一只神羊的后代，神羊神奇在哪呢？就是一窝儿能生七只羊崽。在印度，女性的价值就是生育，在印度人的观念中，孩子就像是家里的财产，越多越好。所以作者在这里用波纳奇的“神”影射了印度人的传统思想。

  波纳奇是在一个傍晚，被一个巨人送到老汉的手中的。刚出生的它，在跟老汉回家的途中，就差点被老鹰叼走，后来到了老汉家之后，又差点在晚上睡觉时被野猫吃掉。而且，因为没有母亲的乳汁，波纳奇只能饥一顿饱一顿，运气好能吃到点老汉家里其他母羊的乳汁，否则就只能靠着老太婆给喂的米汤续命。其他的小羊都长得结实圆滚滚的，只有波纳奇瘦小而虚弱。波纳奇的成长经历了很多磨难，就像很多印度女性要躲过多少隐藏的危险，才能幸运长大。

  

  长大后的波纳奇跟着老汉和老太婆出了一趟远门，结识了一只名叫波万的公山羊，建立了亲密关系，度过了一段非常美好的时光。不过，当他们要回家的时候，波纳奇和波万被无情地拆散了，波纳奇非常伤心，甚至都吃不下东西。

  后来波纳奇生长发育成熟发情了，老汉带着它找了一只老公羊交配。不过这次交配只让波纳奇感受到了卑微和屈辱，它对整个世界都感到了恶心。这样的交配只是为了生育，就像现实的女性，当沦为一个生育机器时，只有屈辱。

  波纳奇果然生了7只羊崽，令附近的人都大为惊叹，不少人赶着过来看它，称它是神羊。然而生育后的波纳奇很辛苦，因为它的孩子总是在喝奶，它几乎一直叉开腿站着，到后来波纳奇更瘦了，肚子瘪了，眼窝凹了，连叫唤的力气都没有了。这里隐喻的是女性为生育和养育而承受的生理和心理上的双重艰辛。

  波纳奇的7只小羊崽被卖掉了大半，老汉和老太婆得到了不少钱，置办了很多东西。老汉夸波纳奇是上天赐予的礼物。然而再之后，波纳奇又怀了两次，最后一次怀孕的时候，天气干旱，人们已经没东西可吃了。老汉杀了几只小羊羔吃肉以后，就和老太婆商量等波纳奇生完之后，把羊羔埋了，把波万奇杀死吃肉。因为他们已经养不起这么多羊了。可老太婆不忍心，老汉就咒骂波纳奇，说因为它的到来要了家里所有牲口的命，现在又要人的命。

  当波万奇给人带来利益的时候，老汉说它是上天的礼物，当环境恶化之后，又将一切罪责怪到了波纳奇的身上。在印度女性的地位非常低下，她们常常就是男性的出气筒，一切罪责的承担者。

  最后，波纳奇在饥饿中死去了，变成了一具石像，也成了一个传说。

  

  小说中的黑山羊波纳奇至少经历过一些温情的时刻，老太婆无微不至的照料，与波万的相逢，也曾给波纳奇苦难的一生带去了一些美好。

  然而开头提到的新闻中的全职妈妈，以及很多我们不知道的女性，可能连这样的温情时刻都未曾有过。生养孩子，由母亲的天性本能，对孩子的爱，演变成一种桎梏，把女性困住。这是何其悲哀的事啊！难怪越来越多的女性不愿结婚，不愿生育。

  只有生育支持体系更加完善，女性的生育权才能得到真正保障，而不必为了生育堵上自己的整个人生，那时候女性才能真正自由。